株式会社インターテック エンジニアリング

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SERVICE-02IRAS裏面アライメントシステム(IRAS)

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裏面アライメントシステム

ミラープロジェクションマスクアライナー、コンタクトアライナーで両面露光を可能にするユニット。IR(近赤外線)仕様も実績あり。

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ミラープロジェクション(MPA)

本ユニットをMPA,PLAに搭載する事により、ウェハーの裏面をアライメントできるユニットです。
MPA,PLAを裏面露光装置として使用する為に製作しました。
新規で裏面露光装置のご購入を考えているユーザー様にお勧めです。

主要追加部品
  • マスクアライメント用CCDカメラ
  • ウェハー裏面アライメント用近赤外線CCDカメラ
  • 画像解析用モニター&パソコン
  • 裏面カメラユニットステージ
  • その他
対 応 機 種
  • MPA600Series,PLASeries
設 置 期 間
  • 1.5週間
納 期
  • 3ヶ月間
  • 近赤外線仕様もあります
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