SERVICE-01MPAMPAサービス

弊社では、キヤノン製 MPAシリーズの装置リファビッシュ・リニューアルをはじめ、装置改造、部品販売、ユニット販売、移設業務など様々なサービスを行っております。

MPAサービス内容

対応機種: MPA500FAb～MPA600Super

対応業務

装置改造
インチサイズ変更
変形ウェハ改造（丸型、角型、扇形）
定期メンテナンス
部品販売
ミラー再生（一部ミラー、レンズ販売）
インチキット
メンテキット（照度、各種調整マスク）
消耗品各種（お問い合わせ下さい）
ユニット販売　※自社開発商品
遠隔操作（リモート）ユニット
画像アライメントシステム
TDCユニット
ベルトレス搬送
高輝度照明ユニット
AAリトライユニット
IRAS
移設業務
トラブル対応

保有装置: MPA500FAb／MPA600FA／MPA600Super

販売実績: MPAシリーズ：77台（国内・海外：2017年6月現在）

自社開発商品概要

遠隔操作ユニット

遠隔操作（リモート）ユニット

複数のミラープロジェクションマスクアライナーをお持ちで、装置がそれぞれ離れて設置されている場合、エラーが発生していてもオペレーターが気づかず長時間停止している事があります。
本ユニットは複数台の装置をコンソールで繋ぎエラーが発生した場合、コンソール上で再アライメントができるユニットです。量産に対して稼働率向上と効率化を目的としています。