裏面アライメントシステム

ミラープロジェクションマスクアライナー、コンタクトアライナーで両面露光を可能にするユニット。IR(近赤外線)仕様も実績あり。

ミラープロジェクション(MPA)

本ユニットをMPA,PLAに搭載する事により、ウェハーの裏面をアライメントできるユニットです。
MPA,PLAを裏面露光装置として使用する為に製作しました。
新規で裏面露光装置のご購入を考えているユーザー様にお勧めです。