ウォームギア
ホイルギア
エリプソミラー(再コート)
G3ミラー
G2ミラー
ASエアシリンダー
ワイヤー(+)
ワイヤー(−)
3.0mmスリット
DR MASK各種
FOCUS MASK各種
MPA500用照度計
オートハンドユニット
コンバージョンキット各種
メインパネル
Controller, 101
(No.13-113101.)
Controller, 101
(No.13-113101.)
Rotor,
(No.19-A72-20M-0215)
Rotor Stop Positioner,
(No.10-114100/253R0014-01)
GAP SETTING UNIT (Refurbish)
(No.BG6-0095-000)