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SERVICE-03PLAPLAサービス

PLA600FA

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キャノン製コンタクトマスクアライナーPLAシリーズ本体の販売、レンタルアフターサービス業務を行っております。

PLAサービス内容

対応機種: PLAシリーズ：PLA501FA／PLA501F／PLA501S／PLA600FA／PLA600F／PLA600S

対応業務

設置
移設
改造(インチ変更、仕様変更)
オーバーホール
点検

各種対応実績

ウエハ材質対応
シリコン
SIC
Inp
GaAs
サファイア
ウエハ形状(小径～変形)対応
四角形10mm〜
三角形
扇形
部品対応
新品及び中古部品を保有販売
電子基板(PCB)の修理対応、貸出、販売
GAP UNITの修理、貸出、販売
測定冶具の貸出、販売
部品再生(テフロン再処理、研磨)

販売実績: PLAシリーズ：72台（国内・海外：2017年6月現在）

01 MPAサービス

02 IRAS及びMPA改造

03 PLAサービス

04 SEMサービス

05 WJサービス

SERVICE 商品・サービス

06 NSRサービス

07 移設サービス

09 クラッシャー

SERVICE商品・サービス

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02 IRAS及びMPA改造

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04 SEMサービス

05 WJサービス

06 NSRサービス

07 移設サービス

09 クラッシャー

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