本コーターデベロッパー「ICP-6400 / 8600シリーズ」の特徴は、半導体のみならず多種のデバイスに対し広く応用され、シリコンはもちろん石英、サファイヤ、セラミック等さまざまな材料で実績があります。また、インチ交換の時短、カップ交換の簡易化、厚膜対応などが特徴です。

仕様

※その他、様々な改造、ワンオフ装置製作等行っておりますのでお問合せください。