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SERVICE-04SEMSEMサービス

S-9380II

S-8840

日立製CD-SEMのサービスを行っています。修理、改造、オーバーホール等お問い合わせください。

SEMサービス内容

対応機種: S-8820／S-8840／S-8C40／S-9200／S-9220／S-9260／S-9260A／S-9300／S-9360／S-9380／S-9380Ⅱ

対応業務

装置リファビッシュ・リニューアル
装置改造
インチサイズ変更(4,5,6,8,12インチ)
ウェハホルダーの制作
ワークステーションの置換
化合物ウェハ(SiC、GaAs,LT等)対応
装置修理オーバーホール
HVコントローラー修理
搬送ロボットO/H(S8000、S9000)
基板、モータードライバー修理
交換アームオーバーホール
定期メンテナンス
チップ交換
部品販売
インチキット
各種部品（詳細はお問い合わせください）
移設業務
トラブル対応

保有装置: S-6700（パーツ装置）／S-8820／S-8840／S-9360／S9380

販売実績: S-8000シリーズ：13台／S-9000シリーズ：12台（2017年6月現在）

01 MPAサービス

02 IRAS及びMPA改造

03 PLAサービス

04 SEMサービス

05 WJサービス

SERVICE 商品・サービス

06 NSRサービス

07 移設サービス

09 クラッシャー

SERVICE商品・サービス

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02 IRAS及びMPA改造

03 PLAサービス

04 SEMサービス

05 WJサービス

06 NSRサービス

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09 クラッシャー

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