SERVICE-04SEMSEMサービス
日立製CD-SEMのサービスを行っています。修理、改造、オーバーホール等お問い合わせください。
SEMサービス内容
- 対応機種
- S-8820／S-8840／S-8C40／S-9200／S-9220／S-9260／S-9260A／S-9300／S-9360／S-9380／S-9380Ⅱ
- 対応業務
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- 装置リファビッシュ・リニューアル
- 装置改造
インチサイズ変更(4,5,6,8,12インチ)
ウェハホルダーの制作
ワークステーションの置換
化合物ウェハ(SiC、GaAs,LT等)対応 - 装置修理オーバーホール
HVコントローラー修理
搬送ロボットO/H(S8000、S9000)
基板、モータードライバー修理
交換アームオーバーホール - 定期メンテナンス
チップ交換 - 部品販売
インチキット
各種部品（詳細はお問い合わせください） - 移設業務
- トラブル対応
- 保有装置
- S-6700（パーツ装置）／S-8820／S-8840／S-9360／S9380
- 販売実績
- S-8000シリーズ：13台／S-9000シリーズ：12台（2017年6月現在）
SERVICE商品・サービス
株式会社インターテック エンジニアリング
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