株式会社インターテック エンジニアリング

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Epitaxial spike crusherエピタキシャルスパイククラッシャー

Epitaxial spike crusher

エピタキシャル成長後、ウェーハの欠陥部分に生じるマウンド(突起)を押しつぶす装置。マウンドの高さを8μm以下にし、後工程に支障のない様にウェハー表面上の高さを一定にした後、スクラバーにより洗浄を行う装置です。

特徴

  • エコライズにより平面合わせ後、シリンダーによりクラッシユ動作。
  • クラッシュ回数:0〜99回
  • クラッシュ押付時間:0〜9.9秒
  • クラッシュ圧力:レギュレーターで調整可能(エコライズ時:1系統/クラッシュ時:2系統)
  • フィルムワインド機構の採用とN2ブローによりスパイクによるウェハー上の汚れを防止。
  • マスクプレートはブラシにより毎回クリーニング。

※特殊改造、インチ改造等はお問合せください。

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