SERVICE-08OTHERその他サービス
SEMITOOL製リンサードライヤーのサービス対応を行っています。
SEMITOOLサービス内容
- 対応機種
- SEMITOOL製 リンサードライヤーSRDシリーズ:SRD-240F/SDR-440H/SRD-840F/SRD-240S/SRD-440S/SRD-840S/SRD-280F/SRD-480F/SRD-880F/SRD-280S/SRD-480S/SRD-880S
- 対応業務
-
- 部品販売
制御コントローラー(PSC101/PSC102)
ヒーター
ソレノイドバルブ
モーターコントローラー
ドア
ドアシール
ローターストップホジショナー
- トラブル対応